第四百零一章 家有四老 (第2/6页)

157纳米的光源、“干式”光刻技术，就是唯一的赛道。

    而林古峰不这么认为，特别是在安美森和阿斯麦联合收购了SVG后，林谷峰亲自跟进了光源项目研究小组的进度，更加感到157纳米波长的光，不适用于光刻领域。

    林谷峰跟陈立东解释说：“因为空气中的氧气会吸收157纳米的光，所以光经过的整个路径必须只有惰性气体，现在只能用氮气。

    氮气的成本很高，而且如果意外漏出太多氮气会致命的。

    我算了一下，157纳米只比193纳米短23％，换句话说，只能把解析度提高23％。

    用193纳米加水可以提高46％，几乎是两倍，因为波长只在水中变短为132纳米。

    光在进入水前的波长是193纳米，可以避开所有157纳米的困难，能改进46％，又容易被半导体业接受，真是天造之合，这是上帝给半导体业的奇妙安排。”

    说道最后，林谷峰瘦削的脸庞上漾起一片绯红，仿佛真的感受到了上帝的关爱一般。

    陈立东算了算，好像46%的数值算的不太对，如果由他来算，波长变短为31%，但即使31%也是一大进步不是。

    林谷峰说得这些，他勉强听得懂，可是对方说这些又是什么意思呢？

    陈立东轻轻咳了一下，然后问道：“林先生，是不是您的工作遇到了困难？”

    安德烈在一旁插嘴说：“林叔叔的意见遭受到了质疑，戴尔.托罗西安甚至私下跟我说，让我将林叔叔从他那边调走。

    他们认为林叔叔是在搅局，因为SVG在157纳米光源方面已经投入了10个多亿，他还说全球各个光刻机台的厂商在157纳米